Lente F-theta acromática de triplo comprimento de onda

Recomendação de produto | Lente acromática F-theta de triplo comprimento de onda

As lentes de varredura a laser padrão são normalmente projetadas para um único comprimento de onda; a troca para um laser diferente resulta em deslocamento focal, pontos desfocados e marcações borradas. As lentes de varredura de banda dupla só conseguem corrigir a aberração cromática entre dois comprimentos de onda.

A Lente de Varredura Acromática de 3 Comprimentos de Onda é uma lente de foco especializada que elimina simultaneamente a aberração cromática para três comprimentos de onda de laser distintos. Os três comprimentos de onda compartilham o mesmo conjunto óptico; a troca entre os processos requer apenas a troca da fonte de laser, sem a necessidade de desmontar a lente ou refocalizar. Isso a torna ideal para sistemas de processamento composto multiprocesso.

A combinação de comprimentos de onda mais comum na indústria é: 355 nm (UV), 532 nm (verde) e 1064 nm (IR).

Lente de varredura F-theta acromática de comprimento de onda triplo

Principais vantagens de desempenho óptico

1. Alinhamento parfocal de três comprimentos de onda com qualidade de ponto consistente

Correção simultânea de aberração cromática para 355/532/1064 nm (ou combinações personalizadas de bandas RGB, UV-VIS-SWIR). Os planos focais dos três comprimentos de onda coincidem, garantindo circularidade consistente do ponto em todo o campo de varredura, sem desfocagem axial ou distorção cromática nas bordas.

2. Alta precisão para processamento de compósitos com erro de posicionamento mínimo

Além da aberração cromática, a curvatura de campo, a distorção, a aberração esférica e o coma também são otimizados. A alta precisão de varredura linear f-theta permite a seleção do comprimento de onda com base nos requisitos específicos da peça. O processamento composto de múltiplas frequências de onda melhora significativamente a precisão geral do processamento.

3. Baixa curvatura de campo e excelente uniformidade de ponto em todo o campo.

Cenários de aplicação

343 nm para remoção de materiais orgânicos, como fotorresistente; 515 nm para remoção de metal ou polisilício de camadas de passivação; e 1030 nm para remoção de ITO de camadas de passivação. Ideal para aplicações de reparo e inspeção de painéis de displays.

Parâmetros do produto

Comprimento de onda

1030nm, 515nm e 343nm

Diâmetro do feixe de entrada

10 mm

Distância Focal Efetiva (EFL)

250 mm

Tamanho do ponto focal

46,94–46,97μm @ 1030nm23,62–23,76μm @ 515nm15,69–16,37μm @ 343nm

Campo de digitalização

17×17mm

Distância de trabalho (DT)

224,5 mm

Comprimento total da lente

46 mm

Diâmetro externo da lente

Φ82mm

Curvatura de campo

<0,1 mm

Distorção

<0,1%

Projetos personalizados estão disponíveis de acordo com as necessidades específicas.


Data da publicação: 08/07/2026